반도체 히터용 첨단 특수금속의 핵심기술
Core Technologies for Semiconductor Heater Specialty Metals Components
고순도 Mo 소재 기반의 정밀 가공, 성형, 열처리, 표면 관리 기술을 바탕으로 AIN/ Ceramic Heater 부품에 최적화된 Mo Wire, Mo Mesh, Mo Coil을 제조합니다.
1. Wire 가공기술
• 0.4 mm 이하의 균일하고 유연한 세선 제조
• 최적 인장강도를 구현하는 고순도 wire 가공
• 직경 정밀도 및 균일성 확보
2. Mesh 성형기술
• 0.4 mm 이하 세선 직조 기술
• 위사·경사 최적화로 균일한 mesh 간격 유지
• 고객 요구 사양에 맞춘 재단 기술
Coil 성형기술
• 다양한 형태의 coil 및 발열체 성형 기술
• pitch, 직경, 권수 제어
• heater 구조에 맞춘 맞춤형 설계 대응
열처리 기술
• 고순도 Mo wire 제조 기반의 물성 제어
• 응력 제거 및 연화 처리 기술
• 성형성·안정성 향상
표면관리 기술
• 화학적·열적·기계적 표면 처리 기술
• wire,, mesh coil 성형품의 고품질 표면 확보
• 청정도·신뢰성 관리
기술 구현 흐름
고순도 Mo 소재
Wire 가공
Mesh/Coil 성형
열처리
표면관리
반도체
히터부품
바이오캐스, 폐기물 연소환경 및 손상 메커니즘 규명
Investigation of Biomass, Waste Combustion Environments, and Damage Mechanisms
코팅 합금 설계 및 분말 제조
Coating Alloy Design and Powder Manufacturing
- Fe-, Ni-계 나노/비정질 합금 조성 (Cr, Mo, Nb 등 첨가)
- 미세한 결정립 (25um) 및 석출상 균일 분포
- 가스 분무법으로 구형분말 제조
