반도체 장비용 첨단 특수금속의 핵심기술
Core Technologies for Semiconductor Heater Specialty Metals Components
고순도 몰리브덴(Mo) 소재 기반의 정밀 가공, 성형, 열처리, 표면 관리 기술을 바탕으로 AIN/ Ceramic Heater 부품에 최적화된 Mo Wire, Mo Mesh, Mo Coil을 제조합니다.
1. Wire 가공기술
• 0.4 mm 이하의 균일하고
유연한 세선 제조
• 최적 인장강도를 구현하는
고순도 wire 가공
• 직경 정밀도 및 균일성 확보
2. Mesh 성형기술
• 0.4 mm 이하 세선 직조 기술
• 위사·경사 최적화로
균일한 mesh 간격 유지
• 고객 요구 사양에 맞춘
재단 기술
3. Coil 성형기술
• 다양한 형태의 coil 및
발열체성형 기술
• Pitch, 직경, 권수 제어
• Heater 구조에 맞춘
맞춤형 설계 대응
4. 열처리 기술
• 고순도 Mo wire 제조
기반의 물성 제어
• 응력 제거 및 연화 처리 기술
• 성형성·안정성 향상
5. 표면관리 기술
• 화학적·열적·기계적
표면 처리 기술
• wire,, mesh coil 성형품의
고품질 표면 확보
• 청정도·신뢰성 관리
▒ 기술 구현 흐름
고순도
Mo 소재
Mo 소재
Wire
가공
가공
Mesh/Coil
성형
성형
열처리
표면관리
반도체
히터부품
